Това е само предварителен преглед!
Фотолитография
В най-общия случай под фотолитография се разбира прехвърлянето на желаната топология, възникнала в резултат на конструктивно пресмятане върху повърхността на полупроводниковата пластина. Като типичен фотографски процес фотолитографията...